1. Te Matenga o te Tauine Geometric
I te mea ka kaha haere nga mahi microprocessor ki te mania, te tikanga tuku iho PPAC (Te Mana, Mahinga, Rohe, Utu) kei te tuhia ano te pukapuka takaro.Kua whakawhiti matou i te Era Whakatauine Geometric ki te Rauemi Hangarau Era.Ko te angitu inaianei kei runga i te whakakotahitanga taumata ngota i waenga i nga rawa hou me te whakaurunga tukanga uaua, kaua ki te whakaiti i te rahinga ngawari.
2. Te Whakapiri FinFET: Te Whakahoutanga i te Ao Atomic
I mua i te whakawhitinga katoa ki te GAA (Gate-All-Around), kei te panaia te mahi a FinFET ki ona rohe-a-tinana na roto i nga waahanga "Micro-Innovation" nui:
- Hangarau Riaka: Te whakamahi SiGe Channels ki te whakanui ake i te nekeneke PMOS e ~18%, ma te whakamahi i nga hanganga "Lateral Push" hei whakanui ake i te taraiwa o naianei.
- Kuwhatanga Tapae Keeti: Tauine EOT (Matotoru Oxide Ōrite) mai i te 11Å ki raro ki te 6Å na roto i te Dipole Engineering matatau ki te arotau i te piu o te paepae raro.
- Whakapā Hangarau: I te iti haere o nga waahi whakapiri ma te 25% mo ia node, kua nuku te pounamu ki te atanga.Ko nga otinga hou e aro nui ana ki te whakaheke i te Arai Schottky (ΦB).
- Arotautanga Wehenga: Te neke atu Nga Hongere Whakakore ki te whakaiti Random Dopant Fluctuation (RDF), te whakaiti i te rereketanga Vt ma te 30%.
3. Ko te "Taupe" te tuanui
I roto i nga pona matatau, He rite te rereketanga ki te Mahinga.Ahakoa he rereke te ahua o Fin, he rereke ranei te tauine ngota, ko te toa o te reihi iti-3nm ko te kaihanga e rangatira ana i te tauritenga puta noa i te wafer katoa.Ko te whakahaere i nga paanga stochastic te rohe hou o te hua me te tere.
4. GAA: He Hunga Hanganga, He Wero Rawa
Ko te whakawhiti ki GAA/Nanosheet Ko nga hoahoanga e whakarato ana i te mana hiko hiko me te whakaheke iti.Heoi, ehara tenei i te whakangawari;ko te ata o Hangarau Rauemi Pūnaha:
- Mana Epitaxy: Te whakahaere i te hanganga superlattice Si/SiGe matatini me te tika nanometer.
- Waitohu Tohua: Te whakatere i te tukanga-nui o te hanga mokowhiti o roto me te tuku SiGe.
- Mahere huarahi a meake nei: Te neke whakamua Pepa marau a Taha Whakamuri Dielectric Wehenga (BDI) ki te whakatau ano i nga herenga nekeneke PMOS me nga kohungahunga tuku hiko.
Whakamutunga: Ko te Arorau Hou o nga Kohanga Ake
Ka rahua te whakatauine, ka neke te whakataetae ki te arorau o raro o nga rawa. Ko te GAA ehara i te mea he whakahoutanga hanganga noa;he hanganga katoa o te ahotea, te atanga, me te mahi tahi. Ko te ahumahi kua kore noa e hanga i nga kuaha iti ake — he hanga rauemi hou kia pai ai te mahi.