Ka Peia e te EUV nga Kohanga Ake ki roto i te Tauine-Nanomete iti: Ko nga Paanga Stochastic e rangatira ana i nga hua me nga wero taumata-Punaha
Kua turakina e te EUV nga mahi hangahanga hikoi ki roto i te waa iti-nanometer, engari ko te whanonga stochastic te take nui o te hua.Mai i nga taputapu lithography ki nga punaha rawa, kua uru te whakamaarama maramara ki tetahi waahanga hou kua tautuhia e nga wero-a-raupapa.
Ina tata nei i arotakehia e ahau tetahi purongo mo te EUV lithography, i tumanako ahau ki nga kaupapa o mua: nga uaua o te puna marama, te utu taputapu nui, me te iti o te hua.Engari i taku panui hohonu ake, ka puta mai he tauira taunga—penei i te kukuwhatanga o te mana rorohiko AI i nga tau tata nei.
I whakaaro matou ko te wero nui a EUV ko te mea ka taea te whakamahi.I tenei ra, kua whakatauhia te nuinga o taua patai: kei roto te EUV i nga mahi whakangao nui-nui, i tangohia e te arorau me nga maramara mahara.Ko te tino wero kua neke marie.
Kua kore e pa ana mehemea ka taea te hanga maramara, engari mehemea ka taea pono.
I te hekenga o nga tukanga ki etahi nanometera noa iho, ka puta mai nga ahuatanga ohorere: he pai te ta o etahi tauira i raro i te tukanga kotahi, ko etahi ka taka matapōkeretia.Ka pakaru nga raina, ka hanga nga piriti, ka ngaro noa nga kohao whakapiri.Ko te mea nui, ehara enei i nga hapa o te hoahoa, i nga taputapu kino ranei — he takahanga tūponotanga.
I taua wa, ka mohio ahau: kei te tipu haere te hanga semiconductor mai i te raru miihini ki te raruraru tauanga.
Ka wehewehea e tenei tuhinga he aha, i muri i te noho a EUV hei turanga mo nga node matatau, ko te tino wero ehara i te taputapu lithography ake, engari ko nga rauemi, nga paanga stochastic, me te whakakotahitanga o te taumata-nana.
Karere Matua o te Ripoata
Ehara te EUV i te whakamohoatanga pukapuka-koinei anake te huarahi pono ki te whakawhānui i te Ture a Moore.Heoi, kua huri tona kaokao mai i nga taputapu ki nga rawa me te whanonga stochastic.
Ko EUV anake te huarahi e tika ana mo nga Kohanga Ake
Mai i nga mapi rori o te umanga, ka maarama ko:
- Kua eke te tauira-maha DUV ki tona rohe tinana
- Ko te EUV Paerewa (0.33 NA) e tautoko ana i nga pona-a-ringa o naianei
- High-NA EUV (0.55 NA) he mea nui mo te whakanui ake
Ko te arorau me te DRAM kei te heke ki EUV, me te DRAM e whakawhirinaki ana ki te hangarau EUV.
Whakamutunga: Ki te kore he EUV, kare e taea te haere tonu o te whakatauine node.
Huringa Wero: Mai i te Utauta uaua ki te uaua rawa
Ko nga wero EUV moata i aro ki:
te mana o te puna marama, te koha kanohi kanohi, me te pumau o nga taputapu.
Kua whakatauhia enei inaianei, me nga puna kei runga ake i te 250W me te waatea o nga taputapu neke atu i te 90%.
Engari kua neke te kaapapa:
te tino pakanga inaianei kei roto i te pūnaha rauemi.
Ko te Putanga Tuturu: Stochastic Effects
Koinei te tirohanga tino nui o te ripoata.
Nga rahunga Stochastic kua noho hei tepe hua tuatahi, ka puta ko:
- Nga raina pakaru
- Te piri i nga hapa
- Nga hoapā ngaro
Ehara enei hapa i te nahanaha—ka puta pea.
I nga rahi iti-10nm:
He iti nga tatau whakaahua EUV,
He tino kikokore nga kiriata aukati (25–50nm),
me te reanga matapōkere taumata rāpoi.
Ko te mutunga mai, mehemea ka tika te ta o te ara iahiko ka waiho hei take pea.
Ko te Tauhokohoko Matua: Whakatau me te Taakaro me te LER (RLS)
Kei te anga a Lithography inaianei ki tetahi matawaenga matarohia e toru-ara:
Taumira teitei ake,
tairongo teitei ake,
me te taratara taha raina-raro (LER)
e kore e taea te arotau katoa i te wa kotahi.
I raro i te EUV:
Ko te taumira teitei ake me iti ake te horopeta, ka kino ake nga paanga stochastic.
Ko te whakaheke i nga hapa me nui ake te horopeta, te whakanui ake i te utu me te whakaheke i te whakaputanga.
Ko nga reeti koha ka whakawhirinaki nui ki te horopeta me te CD.
Ka noho te Lithography hei Raruraru Hangarau Pūnaha
Ko te whakatau tino nui: kua kore te mahi a lithography i te take taputapu—he wero hangahanga punaha.
1. Ka Atete te EUV ki te tipu ake
Hurihia mai i nga taonga pararopi ki nga mea pararopi, me nga paparanga maha-papa (whakaekea + paparanga raro).
Kua tino piki ake te uaua o te puranga rauemi.
2. Ka Hiahia nga Kaipapa o raro
Ko te whakahoatanga o te kaha o te mata ka pa tika ki nga whakaahua, nga koha, me te whakawhiti tauira.
Ko nga pahekoheko i waenga i te tïpako me te aukati ka kaha te awe i te kiato koha.
3. Ko nga Kore he Taurangi Matua
Ko nga rauemi mimiti hou (high-k, PSM) e hiahiatia ana.
Ko nga paanga 3D ka tino nui.
Karekau he otinga rauemi whakakotahi i puta, kaore ano te umanga i whakakotahi.
4. He Mea Tino nga Pellicles EUV
Me hiahia te whakawhiti >95%
a me tu atu ki te whakakitenga EUV mana nui.
Ko nga pellicle-a-CNT e puta mai ana hei otinga matua.
Te Mahi a High-NA EUV
Ko te High-NA (0.55) ehara i te whakahou iti.
Ka aro atu ki nga paanga stochastic, te whakapai ake i te rereke o te ahua, me te whakawhänui i te kaha whakakitenga kotahi.
- Ka whakakapi i te tauira-maha me te whakaiti i te utu
- Whakahohe ai te tauine i raro i te 18nm pitch
Nga Maramatanga Matua
- Ka taea e EUV te whakatauine ahu, engari ka pana noa nga wero ki te taumata e whai ake nei.
- Kua uru mai nga Semiconductors ki te era stochastic-dominant.
Ko nga hapa o mua ko nga rereketanga miihini;ko nga hapa o tenei ra he tuponotanga tauanga.
Kei te tata te whakangao ki nga rohe o te tinana.
- Ka huri te painga whakataetae mai i nga taputapu ki rauemi me te kaha o te punaha,
tae atu ki te aukati i te hoahoa, te whakaorite rauemi, te miihini kanohi kanohi, te whakahaere hapa, me te arotautanga o te matapihi.
Whakamutunga
I whakatauhia e EUV te patai o ahakoa ka taea e tatou te ta.
Ka whakaotihia e te High-NA EUV te patai uaua ake: ahakoa ka taea e matou te whakaputa pono.